[发明专利]用于减轻周期性干扰引起的射频负载阻抗变化的设备及调谐方法在审
| 申请号： | 202180063533.2 | 申请日： | 2021-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN116325071A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·M·贝里;亚伦·T·瑞多姆斯基;马里乌斯·欧尔德杰伊;彼得·保罗;R·莱因哈特 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 于会玲;宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一射频(RF)功率产生系统包括一射频电源，该射频电源产生传送到负载的一射频输出信号。一射频功率控制器被配置为产生一控制信号以改变射频输出信号。该控制器调整与该射频输出信号相关的一参数，并且根据一触发信号控制该参数。根据一成本函数调整该参数，并且通过将一扰动插入到影响该成本函数的一致动器中来确定该成本函数。该致动器可以控制一外部射频输出信号，并且该触发信号可以根据该外部射频输出信号而改变。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减轻 周期性 干扰 引起 射频 负载 阻抗 变化 设备 调谐 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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