[发明专利]用于含金属光致抗蚀剂的显影的金属螯合剂在审
| 申请号： | 202180060341.6 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN116134383A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·卡尔文·汉森;蒂莫西·威廉·威德曼;吴呈昊;凯文·利·顾;德赖斯·狄克特斯 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及使用金属螯合剂来处理暴露光致抗蚀剂膜。在特定实施方案中，金属螯合剂用于移除界面区域，从而提高图案化质量，该界面区域配置在暴露与未暴露区域之间或配置在暴露区域之内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 光致抗蚀剂 显影 螯合剂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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