[发明专利]检查方法在审
| 申请号： | 202180046819.X | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN115867780A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 小林信次;松田俊介 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供对具备异形的圆偏振板的膜状的被检查物(10)有无缺陷进行判断的检查方法。将光源(2)、第一相位差滤光片(3A)、第一相位差板(4A)、被检查物(10)、第二相位差板(4B)、第二相位差滤光片(3B)以在光路(9)上依次排列的方式进行配置，使光入射，从而判断圆偏振板有无缺陷。接着，将第一相位差板(4A)以及第二相位差板(4B)分别置换为波长550nm处的面内相位差值不同的第三相位差板以及第四相位差板，再次使光入射，从而判断圆偏振板有无缺陷。由于第一相位差滤光片(3A)与第二相位差滤光片(3B)构成正交尼科耳状态，因此来自被检查物(10)的异形部分的漏光得到大幅度抑制，从而容易进行异形部分的附近的检查。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 | ||
【主权项】：
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