[发明专利]检查方法

权利要求书

1.一种检查方法，其是对具备圆偏振板以及由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜的膜状的被检查物有无缺陷进行判断的检查方法，其中，

所述被检查物是以矩形为基准且具有从所述矩形的边朝向所述矩形的内侧凹陷的凹部的形状、或者是矩形的角部成为曲线的形状、或者是在远离矩形的边的位置具有贯通孔的形状，

将光源、第一相位差滤光片、第一相位差板、所述被检查物、第二相位差板、以及第二相位差滤光片以在所述光源所发出的光的光路上依次排列的方式进行配置，

所述第二相位差板的波长550nm处的面内相位差值与所述剥离膜的波长550nm处的面内相位差值大致相同，且所述第二相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿，

所述第二相位差滤光片与所述第一相位差滤光片及所述圆偏振板构成正交尼科耳状态，

所述第一相位差板的波长550nm处的面内相位差值与所述第二相位差板的波长550nm处的面内相位差值大致相同，且所述第一相位差板对所述第二相位差板所具有的双折射进行补偿，

使光向所述被检查物入射，从所述光源的相反侧进行观察，从而判断所述圆偏振板有无缺陷，

将所述第一相位差板以及所述第二相位差板分别置换为第三相位差板以及第四相位差板，

所述第三相位差板以及所述第四相位差板的波长550nm处的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm处的面内相位差值大50～100nm，且所述第三相位差板以及所述第四相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿，

在该置换后，使光向所述被检查物入射，从所述光源的相反侧进行观察，从而判断所述圆偏振板有无缺陷。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

所述被检查物在相对于所述圆偏振板设置有所述剥离膜的一侧的相反侧还具备由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的表面保护膜，

在所述第一相位差板与所述被检查物之间还配置有波长550nm处的面内相位差值为5000nm以上的高相位差板。

3.根据权利要求2所述的检查方法，其中，

以使所述表面保护膜的慢轴与所述高相位差板的慢轴大致平行的方式进行配置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查方法，其中，

所述圆偏振板具有由聚合性液晶化合物的固化物构成的相位差膜。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查方法，其中，

在检查中，使所述被检查物、所述第一相位差板、所述第二相位差板、所述第三相位差板、所述第四相位差板、所述第一相位差滤光片、所述第二相位差滤光片、所述第一相位差板以及所述第二相位差板中的至少一个以彼此相面对的角度不同的方式倾斜，或者，使所述被检查物、所述第一相位差板、所述第二相位差板、所述第三相位差板、所述第四相位差板、所述第一相位差滤光片、所述第二相位差滤光片、所述第一相位差板以及所述第二相位差板中的至少一个在与所述光路垂直的方向上旋转。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查方法，其中，

所述第一相位差板以及所述第三相位差板构成为配置在相同的构件内。