[发明专利]光学检查设备在审
| 申请号： | 202180044256.0 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN115803600A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 柳济源;韦德海斯·巴斯拉;金大贤;赵显敏;李从元;李周悦 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 郭小莲;刘美华 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种光学检查设备。该光学检查设备包括：工作台，支撑包括多个发光元件的目标基板；夹具单元，将电信号施加到目标基板并且包括调整电阻器；显微镜，产生目标基板的放大的图像数据；相机单元，通过捕获放大的图像数据来产生彩色图像；以及光学测量单元，通过捕获放大的图像数据来产生光谱图像并且测量光学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检查 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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