[发明专利]光学检查设备

说明书

提供了一种光学检查设备。该光学检查设备包括：工作台，支撑包括多个发光元件的目标基板；夹具单元，将电信号施加到目标基板并且包括调整电阻器；显微镜，产生目标基板的放大的图像数据；相机单元，通过捕获放大的图像数据来产生彩色图像；以及光学测量单元，通过捕获放大的图像数据来产生光谱图像并且测量光学特性。

技术领域

本公开涉及一种光学检查设备。

背景技术

随着多媒体技术的发展，显示设备的重要性已经稳步增加。因此，已经使用了各种类型的显示装置，诸如有机发光显示器(OLED)、液晶显示器(LCD)等。

显示装置是用于显示图像的装置，并且包括诸如有机发光显示面板或液晶显示面板的显示面板。在它们之中，发光显示面板包括发光元件，例如，发光二极管(LED)，并且发光二极管的示例包括使用有机材料作为荧光材料的有机发光二极管(OLED)和使用无机材料作为荧光材料的无机发光二极管。

同时，正在开发用于测量小尺寸的发光元件的个体光学特性的光学检查设备。

发明内容

技术问题

公开的方面提供了一种用于测量具有微米或纳米尺寸的个体发光元件的光学特性的光学检查设备。

应当注意的是，公开的方面不限于以上提及的方面，并且本领域技术人员将从以下描述中清楚地理解公开的其他未提及的方面。

技术方案

根据本公开的实施例，提供了一种光学检查设备，该光学检查设备包括：工作台，被配置为支撑包括多个发光元件的目标基板；夹具单元，被配置为将电信号施加到目标基板，并且包括调整电阻器；显微镜，被配置为产生目标基板的放大的图像数据；相机单元，被配置为捕获放大的图像数据以产生彩色图像；以及光学测量单元，被配置为捕获放大的图像数据以产生光谱图像，并且测量光学特性。

光谱图像包括多个像素，并且光学测量单元测量与光谱图像中的像素中的每个对应的光学特性值。

显微镜包括放大目标基板的一个表面的多个透镜，并且光谱图像中的像素的尺寸小于包括在放大的图像数据中的发光元件的尺寸。

光学测量单元包括二维(2D)光谱仪。

调整电阻器的电阻大于发光元件的电阻。

目标基板包括连接到多个发光元件中的每个的第一电极的多个第一垫部，并且夹具单元包括分别连接到多个第一垫部的多个第一连接器。

光学检查设备还包括电源单元，电源单元被配置为将电信号施加到夹具单元。

调整电阻器连接在多个第一连接器中的每个与电源单元之间。

目标基板还包括连接到多个发光元件的第二电极的第二垫部，并且夹具单元还包括连接在电源单元与第二垫部之间的第二连接器。

多个发光元件中的一些连接在多个第一垫部中的一个与多个发光元件的第二电极之间。

光学检查设备包括光路调整单元，光路调整单元被配置为调整光路以将放大的图像数据提供到相机单元。

光学检查设备还包括控制器，控制器被配置为确定在光学测量单元中是否已经发生了噪声，其中，控制器从相机单元接收彩色图像，从光学测量单元接收光谱图像，并且将彩色图像与光谱图像进行比较。

根据本公开的另一实施例，提供了一种光学检查设备，该光学检查设备包括：工作台，被配置为支撑包括多个发光元件的目标基板；激光单元，被配置为将检查光照射到多个发光元件；显微镜，被配置为产生目标基板的放大的图像数据；相机单元，被配置为捕获放大的图像数据以产生彩色图像；以及光学测量单元，被配置为捕获放大的图像数据以产生光谱图像，并测量光学特性。