[发明专利]MEMS致动器、MEMS致动器的驱动方法和MEMS致动器控制程序在审
| 申请号： | 202180025590.1 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN115427344A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 仓品贵之;铃木智史;杉本达哉;山本洋夫 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;梁策 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的MEMS致动器具备：可动梳齿电极，通过在其与固定梳齿电极之间产生的静电力来驱动可动部；驱动电路，其在固定梳齿电极与可动梳齿电极之间施加驱动电压，该驱动电压具有周期性地反复上升和下降，并且包含在上升后且下降前成为恒定电压的期间的时间波形；和时刻检测电路，其将因固定梳齿电极与可动梳齿电极之间的电容的变化而在期间内从固定梳齿电极或可动梳齿电极输出的电流信号转换为电压信号，而生成表示电容的微分值的电容微分信号，并检测电容微分信号到达阈值的时刻。驱动电路将在时刻检测电路检测的时刻与驱动电压的下降的时刻的关系控制成恒定。 | ||
| 搜索关键词： | mems 致动器 驱动 方法 控制程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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