[发明专利]大气压远程等离子体CVD装置、覆盖膜形成方法及塑料瓶制造方法

摘要

本发明提供一种等离子体CVD装置及覆盖膜形成方法，在包括塑料瓶等具有立体形状的基材的各种基材的表面上，能够在大气压下形成覆盖膜。一个实施方式的大气压远程等离子体CVD装置具备：具有气体入口、内部空间和等离子体出口的电介体腔室；及在内部空间内产生等离子体的等离子体产生装置。等离子体出口具备喷嘴，该喷嘴具有比内部空间的正交于气体流动方向的截面的平均截面面积更小的开口面积。