[发明专利]物体保持器、工具和制造物体保持器的方法在审
| 申请号： | 202180020908.7 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN115280243A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | B·L·W·M·范德文;J·B·C·恩格伦;A·W·诺滕博姆;J·V·奥沃卡姆普;K·G·H·詹森;J·A·C·M·皮耶宁堡;J·范杜凡波第;E·J·聂文辉;K·范贝尔克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 毕杨 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种被配置成支撑物体的物体保持器，所述物体保持器包括：芯体，所述芯体包括多个突节，所述多个突节具有位于支撑平面中以用于支撑所述物体的远端；和静电片，所述静电片位于所述突节之间，所述静电片包括被夹在介电层之间的电极；其中，所述静电片通过具有至少100nm的厚度的结合材料结合至所述芯体。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 保持 工具 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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