[发明专利]将射频(RF)信号与处理室的输入信号导体去耦在审
| 申请号: | 202180013978.X | 申请日: | 2021-02-09 |
| 公开(公告)号: | CN115088055A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
| 发明(设计)人: | 尼克·拉伊·小林百格;莫汉·蒂拉加拉杰 | 申请(专利权)人: | 朗姆研究公司 |
| 主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
| 代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 樊英如;张静 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种将RF信号从处理室的输入信号导体去耦的装置包括至少第一开关,以将能量存储元件与处理站内的有源元件去耦。在特定实施方案中,当第一开关处于断开位置时,位于电流发生器和能量存储元件之间的第二开关闭合,从而允许电流发生器对能量存储元件充电。响应于能量存储元件达到预定电压,第一开关可以闭合,第二开关可以断开,从而允许电流从能量存储元件放电到有源元件。在某些实施方案中,不允许第一和第二开关同时在闭合位置操作,从而防止RF从处理站耦合到电流发生器。 | ||
| 搜索关键词: | 射频 rf 信号 处理 输入 导体 | ||
【主权项】:
暂无信息
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