[发明专利]将射频(RF)信号与处理室的输入信号导体去耦

权利要求书

1.一种将信号耦合到处理室的装置，其包括：

一个或多个第一开关，其当被安装在所述处理室中时，位于至少一个能量存储设备和所述处理室的至少一个有源元件之间，并且被配置为控制在至少一个能量存储设备和所述处理室的所述至少一个有源元件之间传导的第一电流；和

一个或多个第二开关，其当被安装在所述处理室中时，位于所述至少一个能量存储设备和一个或多个电流发生器之间，并且被配置为控制所述一个或多个电流发生器和所述至少一个能量存储设备之间的电流传导。

2.根据权利要求1所述的装置，其还包括一个或多个射频(RF)滤波器，所述一个或多个RF滤波器中的每一个与所述一个或多个第一开关中的对应开关具有串联关系。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述一个或多个RF滤波器中的至少一个在约400kHz或约27.12MHz提供至少约20dB的信号衰减。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述至少一个能量存储设备包括电容器或电感器。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述电容器包括从约1mF到约100mF的电容，或者所述电感器包括从约1mH到约100mH的电感。

6.根据权利要求1所述的装置，其还包括变压器，所述变压器被配置为增加来自所述至少一个能量存储设备的电压。

7.根据权利要求1所述的装置，其还包括控制器，其耦合到所述至少一个能量存储设备并且被配置为修改所述至少一个能量存储设备的电容或电感的值。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个能量存储设备包括以并联关系布置的2个或更多个能量存储设备。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述处理室的所述至少一个有源元件包括电阻加热元件、微波信号发生器、紫外光源、红外光源或它们的任何组合。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个第一开关、射频(RF)滤波器、所述能量存储设备和所述一个或多个第二开关与所述一个或多个电流发生器串联布置。

11.根据权利要求10所述的装置，其还包括控制器，所述控制器被配置为防止所述一个或多个第一开关和所述一个或多个第二开关同时闭合。

12.一种用于控制一个或多个第一开关和一个或多个第二开关的切换的控制器，该控制器包括：

处理器，其耦合到存储器，以引导位于至少一个能量存储设备和处理室的至少一个有源元件之间的所述一个或多个第一开关的断开，

所述处理器还用于在断开位于所述至少一个能量存储设备和一个或多个电流发生器之间的所述一个或多个第二开关之后或同时引导所述一个或多个第一开关的闭合。

13.根据权利要求12所述的控制器，其中，所述处理器在一段时间后引导所述一个或多个第二开关的断开，并且在所述一个或多个第二开关的所述断开之后或同时启动所述一个或多个第一开关的闭合。

14.根据权利要求15所述的控制器，其中所述处理器另外操作以修改所述至少一个能量存储设备的电容或电感的值。

15.根据权利要求12所述的控制器，其中，所述处理器响应于所述至少一个能量存储设备已经积累了预定量的能量的指示另外引导所述一个或多个第一开关的闭合。