[发明专利]光学相控阵芯片以及激光雷达有效
| 申请号： | 202180007949.2 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN114945836B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 汪敬 | 申请（专利权）人： | 深圳市速腾聚创科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481;G01S7/484;G01S7/4911;G02B6/12 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 田甜 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道平*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开一种光学相控阵芯片以及激光雷达。该光学相控阵芯片，包括依次设置的衬底层(100)、埋氧层(200)、第一波导层(300)、氧化层(400)、第二波导层(500)以及上包层(600)；第一波导层(300)上形成有移相器组件(730)；第一波导层(300)和第二波导层(500)之间形成有两个层间转换器组件(800)。激光雷达包括激光雷达发射系统、接收系统以及信号处理系统，激光雷达发射系统包括激光器和上述光学相控阵芯片。本申请公开的光学相控阵芯片以及激光雷达，降低了光学相控阵芯片中各器件制作的工艺要求，并提高了其性能。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 相控阵 芯片 以及 激光雷达 | ||
【主权项】：
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