[发明专利]活性气体生成装置在审
| 申请号： | 202180007362.1 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN114916256A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 有田廉;渡边谦资 | 申请（专利权）人： | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种喷出不含杂质的优质的活性气体的构造的活性气体生成装置。并且，本发明的活性气体生成装置(100C)通过冷却板(9)、电极按压部件(8)以及高电压施加电极部(1C)而设置对壳体内空间(33)与放电空间(6C)之间的气体流动进行分离的气体分离构造。活性气体生成装置(100C)还具有设置在高电压施加电极部(1C)的电极用介电膜(11)的上表面上的辅助用金属电极(12)。辅助用金属电极(12)设置为在俯视时与活性气体流通路径的一部分重复，且被设定为接地电位。 | ||
| 搜索关键词： | 活性 气体 生成 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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