[实用新型]真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202123409112.7 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN217052366U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 邵建鑫;冯旭光;李通光 | 申请（专利权）人： | 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 高明翠 |
| 地址： | 200120 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域，包括蒸镀室和位于所述蒸镀室内的加热样品台和蒸镀源，所述加热样品台用于承载基片，所述加热样品台上方设置有加热元件和温度传感器，所述加热样品台下方设有可上下调整并旋转的基片挡板，所述基片挡板用于阻挡靶材蒸汽，所述加热样品台的上方设有第一回转机构，所述第一回转机构用于驱动所述加热样品台旋转。本实用新型能够解决现有技术中样品台加热效率低、能量利用率低、控温精度不高等问题，易于实施且控温效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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