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[实用新型]一种真空镀膜样品台及真空镀膜设备-CN202222562451.7有效
发明人：江忠朗;何飞;徐尚超;程玄清;冯旭光 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜样品台及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域，包括样品台本体、主轴、顶板和升降机构，所述样品台本体和主轴相连接，所述主轴和顶板相连接，所述顶板上设有与主轴连接的升降机构，所述升降机构用于驱动样品台本体上下移动，一种真空镀膜设备，包括所述真空镀膜样品台，本实用新型具有样品台垂直上下移动，高度可调，可以垂直上下自由伸缩，能够准确、方便的更换掩膜板，镀制各种图案的薄膜，同时方便清洁，样品台与蒸发源的之间的高度可调，满足客户差异化镀膜需求的优点。
一种真空镀膜样品设备

[实用新型]一种加热冷却样品台及真空镀膜设备-CN202222562454.0有效
发明人：江忠朗;何飞;徐尚超;程玄清;冯旭光 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热冷却样品台及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域，包括样品台本体、主轴、循环管路、顶板、传动机构、热交换介质入口端和热交换介质出口端，所述样品台本体和主轴相连接，所述主轴内设有循环管路，所述循环管路分别连接热交换介质入口端和热交换介质出口端，所述主轴和顶板相连接，所述顶板上设有与主轴连接的传动机构，所述传动机构用于驱动主轴和样品台本体旋转，一种真空镀膜设备，包括所述加热冷却样品台，本实用新型具有可旋转的样品台实现基板与加热冷却样品台的同时旋转，工作稳定可靠，真空室密封性好，基板能够旋转中得到加热和冷却，温度均匀性好的优点。
一种加热冷却样品真空镀膜设备

[发明专利]用于制造惰性气体氛围的方法、惰性化设备和惰性气体箱-CN202210511868.2在审
发明人： J·利奥波德;K·科赫;G·施普赖策;C·格罗塞尔;P·哈本沙登;H·科尔布尔;H·魏萨切尔 -专利权人：布劳恩惰性气体系统有限公司;布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B01J19/14 文献下载
摘要：用于制造惰性气体箱100中的惰性气体氛围的方法，包括以下步骤：‑提供所述惰性气体箱100，所述惰性气体箱被气体充注，该气体应通过惰性气体被替换，以及‑将所述惰性气体供应到所述惰性气体箱100中，直到将待替换气体从所述惰性气体箱100中移除，并且所述惰性气体箱100被充注所述惰性气体，其中，‑所述惰性气体的供应以这样高的、分布在所述惰性气体箱100的横截面上的体积流进行，使得产生所述惰性气体的定向的置换流1，所述置换流将所述待替换气体从所述惰性气体箱100中置换出。也公开了惰性化设备200，配置为用于制造惰性气体箱100中的惰性气体氛围，和一种配备有惰性化设备200的惰性气体箱。
用于制造惰性气体氛围方法惰性设备

[实用新型]真空镀膜设备-CN202123409112.7有效
发明人：邵建鑫;冯旭光;李通光 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域，包括蒸镀室和位于所述蒸镀室内的加热样品台和蒸镀源，所述加热样品台用于承载基片，所述加热样品台上方设置有加热元件和温度传感器，所述加热样品台下方设有可上下调整并旋转的基片挡板，所述基片挡板用于阻挡靶材蒸汽，所述加热样品台的上方设有第一回转机构，所述第一回转机构用于驱动所述加热样品台旋转。本实用新型能够解决现有技术中样品台加热效率低、能量利用率低、控温精度不高等问题，易于实施且控温效果更好。
真空镀膜设备

[实用新型]一种手套箱用溶剂吸附装置-CN202122789517.1有效
发明人：张毅颖;张航;李通光 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： B01D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种手套箱用溶剂吸附装置，涉及气体吸附技术领域，包括设于吸附装置壳体内的冷凝器，所述冷凝器用于对溶剂蒸气进行冷却，所述冷凝器包括冷凝管路、进气口和出气口，所述冷凝管路用于制冷剂的流通，所述冷凝管路的一端为制冷剂进口，所述冷凝管路的另一端为制冷剂出口，所述吸附装置壳体上设有用于连接手套箱循环管路的接口。本实用新型能够解决现有技术中大量高浓度溶剂蒸汽对设备的腐蚀问题，易于实施且能够充分冷凝大量高浓度溶剂蒸汽，最大限度降低溶剂残留，提高产品良率，保护设备不被腐蚀。
一种手套溶剂吸附装置

[实用新型]一种手套箱用过滤器-CN202122789530.7有效
发明人：江忠朗;闫春晖 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： B01D46/88 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种手套箱用过滤器，涉及过滤器技术领域，包括套筒和筒盖，所述套筒的侧壁为不透气筒体，所述套筒的一端用于连接循环管路，所述套筒的另一端连接所述筒盖，所述套筒与所述筒盖包围的空间内设有滤芯，所述滤芯与所述套筒为可拆卸连接，所述滤芯的截面形状与所述不透气筒体的截面形状匹配。本实用新型能够解决现有技术中过滤器的滤芯不能或不易更换、吸附容量小、容易产生粉尘等问题，易于实施且滤芯可进行更换，具有较大的吸附容量和较快的吸附速度。
一种手套过滤器

[发明专利]加热样品台及具有其的真空镀膜系统-CN202111660646.9在审
发明人：邵建鑫;冯旭光;李通光 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了加热样品台及具有其的真空镀膜系统，涉及真空镀膜设备技术领域，包括加热器和样品台，所述样品台用于承载基片，所述加热器位于所述样品台上方由不透光材料围成的加热腔中，所述加热器连接测温探头和控制器，所述测温探头用于检测基片的温度，所述测温探头朝向所述样品台且位于所述样品台的上方，所述样品台连接有转轴并由所述转轴带动旋转。本发明能够解决现有技术中样品台加热效率低下、安装维护不便、加热温度不均或控制反馈迟滞等问题，易于实施且控温效果更好。
加热样品具有真空镀膜系统

[实用新型]手套箱及其过渡舱舱门结构-CN202122585766.9有效
发明人：张海洲 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： E06B7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了手套箱及其过渡舱舱门结构，涉及手套箱技术领域，包括转轴、旋转臂、锁紧件以及门体，所述转轴用于安装在手套箱的壳体上，所述旋转臂一端与转轴转动连接，旋转臂另一端通过锁紧件与门体连接，所述锁紧件穿过旋转臂与门体活动配合。关门时，将旋转臂绕着转轴转动，使旋转臂带动门体从开启状态向过渡舱舱体口移动，直至门体与舱体开口处平行相对设置，再旋转锁紧件，使锁紧件推动旋转臂向着舱体移动，进而使旋转臂带动门体与舱体开口处的密封圈紧密贴合，在对门体施加推力时，可以使门体与舱体接触时的各向均匀受力，避免了舱体开口处的密封圈因受力不均匀而导致的变形，确保密封效果良好。
手套及其过渡舱门结构

[实用新型]手套箱及其冷热板-CN202122581958.2有效
发明人：张海洲 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B60R7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了手套箱及其冷热板，涉及手套箱技术领域，包括第一板和第二板，所述第一板一面设有流道，第一板另一面设有进液口和出液口，所述流道的两端分别与进液口和出液口连通，所述第二板与第一板设有流道的一面紧密贴合。液体经过进液口进入流道，并从出液口流出，起到温度调节的作用，当第一板上的流道加工完成之后，第二板与第一板紧密贴合，防止流道中的液体泄漏，使冷热板的温度均匀性好，减小成膜不均匀的问题。
手套及其冷热

[实用新型]一种自动升降密封窗和手套箱-CN202120767852.9有效
发明人：王志武;李通光 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： E06B3/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动升降密封窗和手套箱，涉及密封箱体技术领域，包括：窗，所述窗设于箱体上；升降机构，所述升降机构设于所述箱体上，所述升降机构与所述窗连接；可充气密封圈，所述可充气密封圈设于所述窗和所述箱体之间。本实用新型中的自动升降密封窗，能够满足良好密封性的同时，实现密封窗的自动开启和关闭，且适应于需要频繁开闭密封窗进行大件物料传送的需求。
一种自动升降密封手套

[实用新型]真空干燥系统-CN202120545840.1有效
发明人：张海洲;林彬 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B41F23/00 文献下载
摘要：本申请公开了真空干燥系统，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。本实用新型具有如下有益效果：利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。
真空干燥系统

[实用新型]一种手套固定组件和手套箱-CN202120853592.7有效
发明人：闫春晖 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B25J21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种手套固定组件和手套箱，涉及手套箱技术领域，其中，一种手套固定组件，包括：第一环形盘，所述第一环形盘固定在箱体上；第二环形盘，所述第二环形盘与第一环形盘同轴相连，所述第二环形盘的外径小于所述第一环形盘的外径；弹性箍件，所述弹性箍件的两端分别固定在所述第一环形盘的两侧端面上，所述弹性箍件位于所述第二环形盘外壁上；固定件，所述固定件套设于所述第二环形盘的外壁上。本实用新型通过设置弹性箍件将向外伸出的部分手套收起并固定在第二环形盘上，从而减少了手套向外伸出的体积，减少了手套的占用空间，进而降低了手套受损风险，且能够有效替代手套盖，达到降低生产成本的效果。
一种手套固定组件

[实用新型]一种显示和半导体器件封装固化装置-CN202120860896.6有效
发明人：程玄清;林彬;李通光 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种显示和半导体器件封装固化装置，涉及显示和半导体器件封装技术领域，包括：箱体和箱盖，箱体和箱盖均设于手套箱内，箱体内设有基板平台，箱盖内设有盖板平台和吸附平台，基板平台与盖板平台对应设置，盖板平台对应设于吸附平台的下方，盖板平台上设有定位销，箱盖上设有定位孔，定位销与定位孔之间配合连接。本实用新型的显示和半导体器件封装固化装置可以实现基板与盖板之间的精确定位，提高显示和半导体器件的封装性能。
一种显示半导体器件封装固化装置

[实用新型]恒温密封腔室装置-CN202120545838.4有效
发明人：闫春晖 -专利权人： 布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B41J2/00 文献下载
摘要：本申请公开了恒温密封腔室装置，包括箱子，所述箱子上安装有维护门，箱子内设置有密闭的腔室，所述箱子上设置有调温结构，调温结构用以调节箱子内的温度，还包括风机及灰尘过滤器，所述灰尘过滤器设置在腔室内，且灰尘过滤器位于箱子的箱顶处，所述风机设置在箱顶处，所述风机用于将气体吹向灰尘过滤器。本实用新型具有如下有益效果：风机带动腔室气体自上而下流动，并经过灰尘过滤器过滤气体，保证腔室内的环境洁净度高。
恒温密封装置

[发明专利]用于从可维修的惰性气体壳体的工作室更换气体的装置和方法-CN201780016327.X有效
发明人： G·施普赖策;G·塞义德 -专利权人：布劳恩惰性气体系统有限公司;布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B08B15/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于从可维修的惰性气体壳体(10)的工作室(13)更换气体的装置，该装置具有壳体引出管路(50.1)，壳体引出管路连接在惰性气体壳体(10)上且借助壳体引出管路可从惰性气体壳体(10)中排出气体，且其中，设有壳体引入管路(50.15)，该壳体引入管路构造成，借助输送装置、优选鼓风机(24)将呼吸空气导入惰性气体壳体(10)中。为了能够以很少的费用对惰性气体壳体实现可靠的呼吸空气监测，根据本发明规定，在壳体引出管路(50.1)中布置至少一个传感器，优选呼吸空气监测机构(40)的氧气传感器(41)。
用于维修惰性气体壳体工作室更换气体装置方法

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