[实用新型]新型真空设备晶圆支撑装置

摘要

本实用新型公开了新型真空设备晶圆支撑装置，其技术方案要点是：包括底板，所述底板固定安装有转筒，所述转筒上通过轴承转动安装有转轴，所述转轴的上端固定安装有支撑板，所述转轴上固定安装有齿盘，所述转筒的表面上安装有锁止组件，所述支撑板上安装有多个等距分布的L型夹块，所述L型夹块上开设有第一导向孔，所述第一导向孔内安装有夹持组件，所述L型夹块上设置有第一载盘，所述夹持组件的一端抵止在第一载盘上；所述L型夹块的上表面上设置有插孔，通过定位组件设置的定位销钉方便通过第二弹簧的反作用力抵止在第二导向孔内对插孔中插装的定位柱进行定位，方便对第二载盘的安装。