[实用新型]一种真空镀膜试验装置有效
| 申请号： | 202123302344.2 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN216585196U | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 解传佳;张永胜;吴超;梁得刚 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 徐会娟 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空镀膜试验装置，涉及真空镀膜技术领域，能在完成基本真空镀膜的同时，还能够实现对阴极靶材收集率的测试。该装置包括依次设置的上料机构、第一分子泵室、工艺成膜室和第二分子泵室；所述第一分子泵室和第二分子泵室均和用于抽真空的真空结构连接；所述工艺成膜室内设有升降机构；所述升降机构包括升降平台和用于实现升降平台升降的动力导向结构；所述升降平台包括水平设置的靶材收集板、冷却板以及竖直设置的支撑杆；所述冷却板设于所述靶材收集板下方，所述支撑杆设置在所述冷却板下方；所述支撑杆的底端与所述动力导向结构连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 试验装置 | ||
【主权项】：
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