[实用新型]一种真空镀膜试验装置

说明书

本实用新型提供了一种真空镀膜试验装置，涉及真空镀膜技术领域，能在完成基本真空镀膜的同时，还能够实现对阴极靶材收集率的测试。该装置包括依次设置的上料机构、第一分子泵室、工艺成膜室和第二分子泵室；所述第一分子泵室和第二分子泵室均和用于抽真空的真空结构连接；所述工艺成膜室内设有升降机构；所述升降机构包括升降平台和用于实现升降平台升降的动力导向结构；所述升降平台包括水平设置的靶材收集板、冷却板以及竖直设置的支撑杆；所述冷却板设于所述靶材收集板下方，所述支撑杆设置在所述冷却板下方；所述支撑杆的底端与所述动力导向结构连接。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜试验装置。

背景技术

目前现有的真空镀膜试验装置的普遍情况是，可以进行一些真空关键部件的性能测试，靶材利用率的测试，阴极膜层均匀性的测试，制备相关膜层进行相关性能测试等。但还没有专门针对旋转靶材收集率进行测试的真空试验装置。

而要对旋转靶材的收集率进行测试的难点在于，首先需要将基板移动对旋转阴极的动态膜层均匀性进行测试并进行调整，获取阴极的有效溅射宽度数据。而另一方面测试靶材收集率需要让基板在靶材下方持续溅射，长时间的溅射带来的问题就是基板的热无法散去导致基板严重变形带来膜层脱落、真空系统受损等一系列可预知及不可预知的风险，导致测试无法进行。针对这个问题还没有比较有效的解决方案。

因此，有必要研究一种新的真空镀膜试验装置来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种真空镀膜试验装置，在完成基本真空镀膜的同时，还能够实现对阴极靶材收集率的测试。

本实用新型提供一种真空镀膜试验装置，所述装置包括依次设置的上料机构、第一分子泵室、工艺成膜室和第二分子泵室；所述第一分子泵室和第二分子泵室均和用于抽真空的真空结构连接；

所述工艺成膜室内设有升降机构；所述升降机构包括升降平台和用于实现升降平台升降的动力导向结构；

所述升降平台包括水平设置的靶材收集板、冷却板以及竖直设置的支撑杆；所述冷却板设于所述靶材收集板下方，所述支撑杆设置在所述冷却板下方；

所述支撑杆的底端与所述动力导向结构连接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述动力导向结构包括金属支架、导轨、滑块、丝杆和电机；

所述支撑杆的底端与水平设置的所述金属支架连接，所述金属支架通过垂直设置的所述丝杆与所述电机连接；所述丝杆通过所述滑块与竖直设置的所述导轨滑动连接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述支撑杆的底端穿过所述工艺成膜室的底面并伸出，伸出部分通过动密封结构与所述动力导向结构连接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述动密封结构包括上真空法兰、下真空法兰以及可伸缩波纹管；

所述上真空法兰通过螺栓与所述工艺成膜室的底面固接，所述下真空法兰通过螺栓与所述动力导向结构固接；

所述可伸缩波纹管的上端与所述上真空法兰固接，下端与所述下真空法兰固接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上真空法兰与所述工艺成膜室的底面之间设有0型密封圈实现密封连接，所述下真空法兰与所述动力导向结构之间设有0型密封圈实现密封连接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述真空结构包括机械泵组、第一分子泵、第二分子泵、第一管道和第二管道；

所述机械泵组通过所述第一管道与所述第一分子泵室连接，所述第一管道上设有所述第一分子泵；