[实用新型]一种用于获取拉晶炉的炉体内的污染信息的装置有效

专利信息
申请号: 202123237214.5 申请日: 2021-12-21
公开(公告)号: CN216404589U 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 郭超超;张鹏举;陈凡 申请(专利权)人: 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: C30B15/26 分类号: C30B15/26
代理公司: 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 代理人: 姚勇政;侯丽丽
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种用于获取拉晶炉的炉体内的污染信息的装置,所述装置包括:采样构件,所述采样构件用于吸附污染物;放入机构,所述放入机构用于将所述采样构件放入至所述炉体的内部;处理器,所述处理器用于检测所述采样构件放入炉体内部前后的污染信息变化量,所述污染信息变化量表征所述污染信息。
搜索关键词: 一种 用于 获取 拉晶炉 体内 污染 信息 装置
【主权项】:
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