[实用新型]一种采用分段式挡板的刻蚀机送料机构

摘要

本公开提供了一种采用分段式挡板的刻蚀机送料机构，所述刻蚀机送料机构包括槽体、挡板，挡板和槽体围成的空间内设置有水平放置的辊筒；挡板由若干块分段挡板构成，分段挡板之间通过密封装置连接；分段挡板包括紧贴所述槽体外表面的挡板底座，分段挡板的上端口为波浪形溢流口；挡板底座设置有空间预留口，空间预留口设置有调节装置；密封装置为柔性工字型插销，柔性工字型插销的左侧面和右侧面分别设置有的凹槽，分段挡板嵌置于凹槽内。本公开刻蚀机送料机构解决了单道过刻、水膜用量大导致的背面发黑、背抛不良、减重异常、反射率偏低问题，从而减少了EL及外观不良风险形并且提升背面钝化效果减少复合，提升开路电压。