[实用新型]一种晶圆分片装置

摘要

本实用新型揭示了一种晶圆分片装置，包括支撑座、第一晶圆盒、第二晶圆盒和推送装置，所述第一晶圆盒和所述第二晶圆盒均设置在支撑座上，且所述第一晶圆盒和所述第二晶圆盒内壁均设有多个用于晶圆片滑动的凹槽，位于同一水平高度的两个所述凹槽相互连通，所述推送装置包括推送架，所述推送架设置在所述支撑座上，所述推送架内部滑动安装有与所述凹槽相匹配的推送板，所述推送板用于将所述晶圆片从所述第一晶圆盒内部推送至所述第二晶圆盒内部。本实用新型通过上述装置的配合使用可快速对晶圆片进行分批作业，无需人工与晶圆片直接触碰，提升对人体的保护功能且防止对晶圆片受到污染。