[实用新型]一种精度测量校准系统有效
申请号: | 202123114974.7 | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN216645228U | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 雷伟庄 | 申请(专利权)人: | 微见智能封装技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/06;G01B11/28 |
代理公司: | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人: | 马静 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及精度测量领域,特别涉及一种精度测量校准系统,用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准,包括信号连接的数据处理模块和视觉模块以及调节装置;所述视觉模块设于所述调节装置上用于实时获取芯片及基板的图像信息,包括第一视觉组件及第二视觉组件,标的影像的光线被所述第一视觉组件接收,或在所述调节装置的作用下更改光路以被所述第二视觉组件接收,所述数据处理模块用于对视觉模块获取的数据进行处理,然后根据处理结果对固晶机进行校准;本实用新型的精度测量校准系统实现了对固晶后的芯片及基板进行即时检测的功能,灵敏度高、及时性强,且检测精度和检测效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 精度 测量 校准 系统 | ||
【主权项】:
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