[实用新型]一种精度测量校准系统

说明书

本实用新型涉及精度测量领域，特别涉及一种精度测量校准系统，用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准，包括信号连接的数据处理模块和视觉模块以及调节装置；所述视觉模块设于所述调节装置上用于实时获取芯片及基板的图像信息，包括第一视觉组件及第二视觉组件，标的影像的光线被所述第一视觉组件接收，或在所述调节装置的作用下更改光路以被所述第二视觉组件接收，所述数据处理模块用于对视觉模块获取的数据进行处理，然后根据处理结果对固晶机进行校准；本实用新型的精度测量校准系统实现了对固晶后的芯片及基板进行即时检测的功能，灵敏度高、及时性强，且检测精度和检测效率高。

【技术领域】

本实用新型涉及精度测量技术领域，特别涉及一种精度测量校准系统。

【背景技术】

在现有的固晶工艺中，通常会在完成对一个批次芯片及基板的固晶后对该批次的成品进行测量，获取该批次成品的贴装精度，以便于在下一次固晶前对固晶机进行校准；但现有的固晶机并不具备对贴装精度的检测功能，需要将贴装好的该批次芯片及基板转移到别的设备上进行检测，然后再根据检测结果反过来对固晶机进行校准，存在灵活度过低，测量结果滞后的问题。

【实用新型内容】

为解决固晶成品的测量结果滞后的问题，本实用新型提供了一种精度测量校准系统。

本实用新型解决技术问题的方案是提供一种精度测量校准系统，用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准，包括信号连接的数据处理模块和视觉模块以及调节装置；所述视觉模块设于所述调节装置上用于实时获取芯片及基板的图像信息，包括第一视觉组件及第二视觉组件，标的影像的光线被所述第一视觉组件接收，或在所述调节装置的作用下更改光路以被所述第二视觉组件接收，所述数据处理模块用于对视觉模块获取的数据进行处理，然后根据处理结果对固晶机进行校准。

优选地，所述精度测量校准系统还包括客户端，所述数据处理模块和所述视觉模块与所述客户端信号连接，所述客户端作为所述数据处理模块和所述视觉模块信息交互的中转站。

优选地，所述精度测量校准系统还包存储系统，用于存储预存数据及临时数据。

优选地，所述调节装置内设有用于容纳第一视觉组件的第一腔体以及用于容纳第二视觉组件的第二腔体，所述调节装置远离所述第一视觉组件及第二视觉组件的一端设有入光口，所述第一腔体、所述第二腔体和所述入光口三者相互连通，所述入光口处设有可活动的第一光学结构；进入所述入光口的光线可通过第一腔体被所述第一视觉组件接收，或在第一光学结构的配合下通过第二腔体被第二视觉组件接收。

优选地，所述调节装置内还设有第二光学结构，用于与所述第一光学结构相配合，将进入所述入光口的光线反射到所述第二腔体以被所述第二视觉组件接收。

优选地，所述第二光学结构与所述第二视觉组件的拍摄方向之间的最小夹角呈45°。

优选地，所述第一视觉组件的拍摄方向与所述第二视觉组件的拍摄方向平行设置。

优选地，所述第一光学结构的一端与所述第一腔体的内壁转动连接，所述第一腔体内的另一内壁上设有用于与所述第一光学结构的活动端配合的限位结构。

优选地，所述第一腔体的内壁上设有用于收纳所述第一光学结构的收纳槽。

优选地，所述收纳槽的深度大于或等于所述第一光学结构的厚度。

与现有技术相比，本实用新型的精度测量校准系统具有以下优点：

1、本实用新型的精度测量校准系统通过在固晶机上安装视觉模块与数据处理模块，实现了对固晶后的芯片及基板进行即时检测的功能；在完成贴装后，可以直接通过视觉模块获贴装后的芯片及基板的图像信息，并通过数据处理模块计算得出芯片的贴装误差，灵敏度高，及时性强；同时，通过第一视觉组件和第二视觉组件相配合能有效地提高检测精度，通过调节装置来调节光线的光路能缩减更换视觉组件的时间，从而提高检测效率。