[实用新型]一种精度测量校准系统

权利要求书

1.一种精度测量校准系统，用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准，其特征在于：包括信号连接的数据处理模块和视觉模块以及调节装置；所述视觉模块设于所述调节装置上用于实时获取芯片及基板的图像信息，包括第一视觉组件及第二视觉组件，标的影像的光线被所述第一视觉组件接收，或在所述调节装置的作用下更改光路以被所述第二视觉组件接收，所述数据处理模块用于对视觉模块获取的数据进行处理，然后根据处理结果对固晶机进行校准。

2.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述精度测量校准系统还包括客户端，所述数据处理模块和所述视觉模块与所述客户端信号连接，所述客户端作为所述数据处理模块和所述视觉模块信息交互的中转站。

3.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述精度测量校准系统还包存储系统，用于存储预存数据及临时数据。

4.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述调节装置内设有用于容纳第一视觉组件的第一腔体以及用于容纳第二视觉组件的第二腔体，所述调节装置远离所述第一视觉组件及第二视觉组件的一端设有入光口，所述第一腔体、所述第二腔体和所述入光口三者相互连通，所述入光口处设有可活动的第一光学结构；进入所述入光口的光线可通过第一腔体被所述第一视觉组件接收，或在第一光学结构的配合下通过第二腔体被第二视觉组件接收。

5.如权利要求4所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述调节装置内还设有第二光学结构，用于与所述第一光学结构相配合，将进入所述入光口的光线反射到所述第二腔体以被所述第二视觉组件接收。

6.如权利要求5所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第二光学结构与所述第二视觉组件的拍摄方向之间的最小夹角呈45°。

7.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第一视觉组件的拍摄方向与所述第二视觉组件的拍摄方向平行设置。

8.如权利要求4所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第一光学结构的一端与所述第一腔体的内壁转动连接，所述第一腔体内的另一内壁上设有用于与所述第一光学结构的活动端配合的限位结构。

9.如权利要求4所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第一腔体的内壁上设有用于收纳所述第一光学结构的收纳槽。

10.如权利要求9所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述收纳槽的深度大于或等于所述第一光学结构的厚度。