[实用新型]一种磨削主轴坐标测量机构有效
| 申请号： | 202123074554.0 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN216442328U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 梁猛;林海涛;赵凯;李彬;宋振兴 | 申请（专利权）人： | 技感半导体设备（南通）有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;B24B7/22 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 丁利华 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磨削主轴坐标测量机构，所述磨削主轴的边缘一圈设置金刚石砂轮座，所述砂轮座的底面设置一圈金刚石砂轮牙齿，所述金刚石砂轮牙齿用于磨削真空吸盘台面上的晶圆，所述测量机构包括：用于获得磨削主轴的基准Z轴坐标的标准块规；固定设置于固定座上并位于磨削主轴下方的检测传感器，所述检测传感器还具有传感器伸缩头，所述传感器伸缩头位于所述金刚石砂轮牙齿的正下方，用于检测磨削主轴的金刚石砂轮位置数据；以及计算单元，所述计算单元与所述检测传感器连接，用于计算获得所述磨削主轴的当前Z轴坐标。本实用新型可快速确定磨削主轴新的基准Z轴坐标数据，能够节省时间，提高效率，并且操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 主轴 坐标 测量 机构 | ||
【主权项】：
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