[实用新型]一种磨削主轴坐标测量机构有效
| 申请号： | 202123074554.0 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN216442328U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 梁猛;林海涛;赵凯;李彬;宋振兴 | 申请（专利权）人： | 技感半导体设备（南通）有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;B24B7/22 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 丁利华 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 主轴 坐标 测量 机构 | ||
1.一种磨削主轴坐标测量机构，所述磨削主轴的边缘一圈设置金刚石砂轮座，所述砂轮座的底面设置一圈金刚石砂轮牙齿，所述金刚石砂轮牙齿用于磨削真空吸盘台面上的晶圆，其特征在于，所述测量机构包括：用于获得磨削主轴的基准Z轴坐标的标准块规，所述基准Z轴坐标为磨削主轴上的金刚石砂轮牙齿下缘与真空吸盘台面之间的距离值，以所述真空吸盘台面为Z轴原点；固定设置于固定座上并位于磨削主轴下方的检测传感器，所述检测传感器还具有传感器伸缩头，所述传感器伸缩头位于所述金刚石砂轮牙齿的正下方，用于检测磨削主轴的金刚石砂轮位置数据，所述金刚石砂轮位置数据为金刚石砂轮牙齿下缘与所述真空吸盘台面之间的距离值；以及计算单元，所述计算单元与所述检测传感器连接，根据所述磨削主轴的基准Z轴坐标数据，与所述金刚石砂轮位置数据而计算获得所述磨削主轴的当前Z轴坐标。
2.根据权利要求1所述的磨削主轴坐标测量机构，其特征在于，所述检测传感器与所述计算单元通过有线或无线连接进行数据传输。
3.根据权利要求2所述的磨削主轴坐标测量机构，其特征在于，所述固定座及所述检测传感器设置于所述真空吸盘台面以外的区域。
4.根据权利要求3所述的磨削主轴坐标测量机构，其特征在于，所述检测传感器为接触式位移传感器。
5.根据权利要求4所述的磨削主轴坐标测量机构，其特征在于，所述计算单元为计算机。
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