[实用新型]一种晶圆成膜的固定装置有效
| 申请号： | 202123025234.6 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216338069U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 刘振兴;赵哲;张优优;沈淳;周长健;潘尧波 | 申请（专利权）人： | 中电化合物半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/14;C30B29/36 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 苗晓娟 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆成膜的固定装置，所述固定装置至少包括：托盘，设有至少一凸起；压环，顶部设有顶部凹槽，以承载所述晶圆；其中，所述压环套设于所述托盘外侧，所述顶部凹槽的内壁和所述凸起与所述晶圆相接触。本实用新型所提供的晶圆成膜的固定装置，可以改善外延后晶圆的厚度、浓度不均匀的问题，以及碳化硅沉积层集中在一个区域而导致卡片和掉落物增加的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆成 固定 装置 | ||
【主权项】：
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