[实用新型]一种晶圆成膜的固定装置

权利要求书

1.一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，至少包括：

托盘，设有至少一凸起；

压环，顶部设有顶部凹槽，以承载所述晶圆；

其中，所述压环套设于所述托盘外侧，所述顶部凹槽的内壁和所述凸起与所述晶圆相接触。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述托盘为圆柱状。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述压环为圆形。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述压环还设有一底部凹槽，所述底部凹槽是位于所述压环的底部，所述底部凹槽的内径大于所述托盘的外径。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述压环通过所述底部凹槽套设于所述托盘上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述顶部凹槽的深度大于或等于晶圆的厚度。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述顶部凹槽开设一个缺口，所述缺口与所述凸起相匹配。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述凸起的高度大于晶圆的高度，小于或等于所述压环的高度。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述凸起为柱状，所述凸起的外侧与所述压环的内壁相贴合，所述凸起的内侧与所述晶圆的平边部分相贴合，以固定晶圆。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆成膜的固定装置，其特征在于，

所述托盘、所述凸起和所述压环是由石墨制成。