[实用新型]杜瓦回温时间测试平台有效
| 申请号： | 202122777304.7 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN216386004U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 段煜;熊雄;毛剑宏 | 申请（专利权）人： | 浙江珏芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/04 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 冯启正 |
| 地址： | 323000 浙江省丽水市莲都*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种杜瓦回温时间测试平台，包括测试工装、罩体、液氮供给单元、温度采集单元以及LabView上位机；测试工装用于固定杜瓦组件，罩体扣盖测试工装及杜瓦组件；温度采集单元用于获取杜瓦组件的冷头的温度信号；液氮供给单元用于提供液氮以使杜瓦组件的冷头降至液氮温度；LabView上位机与温度采集单元信号连接，并输出杜瓦组件从80K升温至160K的时间为杜瓦组件的回温时间。本实用新型中，通过相对常见且简单的仪器搭建而成，不仅成本低廉，并且具有相对液氮挥发法更高的测试精度及更好的可重复性。同时，其测试操作较为简单，具有更高的测试效率，且可获得较为直观的测试结果，并以此实现高效且准确评价杜瓦组件的真空性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 杜瓦回温 时间 测试 平台 | ||
【主权项】：
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