[实用新型]杜瓦回温时间测试平台有效
| 申请号： | 202122777304.7 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN216386004U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 段煜;熊雄;毛剑宏 | 申请（专利权）人： | 浙江珏芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/04 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 冯启正 |
| 地址： | 323000 浙江省丽水市莲都*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 杜瓦回温 时间 测试 平台 | ||
1.一种杜瓦回温时间测试平台，用于测试杜瓦组件的回温时间，所述杜瓦组件具有冷指气缸以及设于所述冷指气缸一端的冷头，其特征在于，所述杜瓦回温时间测试平台包括测试工装、罩体、液氮供给单元、温度采集单元以及LabView上位机；
所述测试工装用于固定所述杜瓦组件，所述罩体用于扣盖所述测试工装及杜瓦组件；
所述温度采集单元用于获取所述冷头的温度信号，所述温度采集单元包括测温二极管以及与数字万用表，所述测温二极管设置于所述冷头上，所述数字万用表与所述测温二极管信号连接；
所述液氮供给单元用于提供液氮以使所述冷头降温至液氮的温度；
所述LabView上位机与所述数字万用表信号连接，用于获取所述杜瓦组件从80K升温至160K的时间并作为所述杜瓦组件的回温时间。
2.根据权利要求1所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，还包括一漏斗，所述漏斗设置于所述冷指气缸的开口上，所述漏斗与所述液氮供给单元配合以向所述冷指气缸注入液氮。
3.根据权利要求2所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述漏斗为夹层真空结构。
4.根据权利要求1所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述测试工装包括底座以及设置于所述底座上的环形凸起，所述环形凸起用于固定所述杜瓦组件。
5.根据权利要求4所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述测试工装的材料为保温材料。
6.根据权利要求4或5所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述底座的内部为空心结构。
7.根据权利要求1所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述罩体的材料为透明材料。
8.根据权利要求7所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述罩体的材料为石英。
9.根据权利要求1所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述数字万用表设置为二极管档位。
10.根据权利要求1所述的杜瓦回温时间测试平台，其特征在于，所述LabView上位机为带Labview的工控机。
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