[实用新型]一种用于真空溅射的工装组件有效
| 申请号： | 202122733819.7 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN216614826U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 严晟硕;张钧强;张杨;毛容伟 | 申请（专利权）人： | 杭州瑞彼加医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 310016 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种用于真空溅射的工装组件。该工装组件包括掩膜板、基板、挡片以及弹性组件。通过该工装组件，遮挡在该待镀膜样品的背面的挡片可以对待镀膜样品进行有效的保护，避免了背面弹射进的等离子体轰击底材造成待镀膜样品背面线路短路；更重要的是，挡片在弹性组件的抵推作用下可以对待镀膜样品的背面有效施加均匀且正向的压应力，使得待镀膜样品的正面可以与掩膜板紧密贴合，如此可防止物理气相沉积过程中掩膜板与待镀膜样品之间发生相对位移，保证了镀膜沉积过程中的靶材等的离子在正交电磁场作用下准确沉积于目标位置，得到图案与掩膜板的镂空区域一致的金属薄膜；其次，在掩膜板与该挡片的夹持左右下可以避免待镀膜样品因为热应力引起的扭曲变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 溅射 工装 组件 | ||
【主权项】：
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