[实用新型]一种溅射靶材检测装置有效
| 申请号： | 202122669597.7 | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN216246251U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 孔伟华 | 申请（专利权）人： | 江苏东玖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 南京佰腾智信知识产权代理事务所(普通合伙) 32509 | 代理人： | 黄杭飞 |
| 地址： | 221200 江苏省徐州市睢宁县*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了检测装置领域的一种溅射靶材检测装置，包括底板，底板的上端固定连接有固定板、第二轴承座和第三轴承座，第三轴承座的内部转动连接有间歇性运动装置，第二轴承座的内部转动连接有往复装置，底板的下端固定连接有动力装置，本实用新型结构简单，只需要简单操作就可以达到便于检测溅射靶材的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 检测 装置 | ||
【主权项】：
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