[实用新型]一种溅射靶材检测装置

说明书

本实用新型公开了检测装置领域的一种溅射靶材检测装置，包括底板，底板的上端固定连接有固定板、第二轴承座和第三轴承座，第三轴承座的内部转动连接有间歇性运动装置，第二轴承座的内部转动连接有往复装置，底板的下端固定连接有动力装置，本实用新型结构简单，只需要简单操作就可以达到便于检测溅射靶材的目的。

技术领域

本实用新型涉及检测装置领域，具体是一种溅射靶材检测装置。

背景技术

溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。

但是，传统在对溅射靶材的平整度进行检测时，都是工人一手拿着检测装置，一手拿着溅射靶材进行检测，这样不仅费时费力，还降低了溅射靶材的生产效率。

因此，本实用新型提供了一种溅射靶材检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种溅射靶材检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种溅射靶材检测装置，包括底板，所述底板的上端固定连接有固定板、第二轴承座和第三轴承座，所述第三轴承座的内部转动连接有间歇性运动装置，所述第二轴承座的内部转动连接有往复装置，所述底板的下端固定连接有动力装置。

作为本实用新型进一步的方案：所述底板的下端固定连接有支撑腿，所述支撑腿设置有多个均匀的分布在底板的下端，工作时，在支撑腿的作用下使得整体装置更加稳定的放置在地面上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述间歇性运动装置包括第四轴承座、蜗杆、蜗轮、第二从动轮、第二皮带、第二主动轮、半齿轮、第一转轴、圆盘和第三转轴，所述第三轴承座的内部转动连接有第三转轴，所述第三转轴的右端固定连接有第二主动轮，所述第三转轴的左端固定连接有半齿轮；所述底板的内部转动连接有第一转轴，所述第一转轴的上端固定连接有圆盘，所述第一转轴的下端固定连接有蜗轮，所述蜗轮啮合有蜗杆，所述蜗杆与第四轴承座之间转动连接，所述第四轴承座的上端与底板之间固定连接，所述蜗杆的右端固定连接有第二从动轮，所述第二主动轮和第二从动轮之间通过第二皮带连接，工作时，当半齿轮转动带动第三转轴转动，第三转轴转动带动第二主动轮转动，第二主动轮转动在第二皮带的作用下带动第二从动轮转动，第二从动轮转动带动蜗杆转动，蜗杆转动带动蜗轮转动，蜗轮转动带动第一转轴转动，第一转轴转动带动圆盘转动，这样圆盘转动就可以带动位于圆盘上端的溅射靶材转动了。

作为本实用新型再进一步的方案：所述往复装置包括方形板、凸轮、全齿轮、第二转轴、移动条、检测头、滑杆和弹簧，所述固定板的内部固定连接有滑杆，所述滑杆的圆周面滑动连接有移动条，所述移动条的下端固定连接有弹簧和检测头，所述弹簧远离移动条的一端与固定板之间固定连接，所述移动条的右端固定连接有方形板；所述第二轴承座的内部转动连接有第二转轴，所述第二转轴的圆周面固定连接有全齿轮，工作时，当第二转轴转动带动凸轮和全齿轮转动，凸轮转动逐渐靠近并挤压方形板，使得方向板向上移动，方形板移动带动移动条沿着滑杆进行移动，这时随着移动条的移动，移动条带动检测头进行移动，由于凸轮不停的转动，随着凸轮的转动凸轮不再挤压方形板，这时方形板和移动条在弹簧的作用下稳定的向下移动，随着凸轮不停的转动，使得移动条不停的进行上下往复移动，移动条不停的进行往复运动，使得检测头不停的进行往复运动；在全齿轮的作用下间歇性的给间歇性运动装置一动力。