[实用新型]一种溅射靶材检测装置

权利要求书

1.一种溅射靶材检测装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上端固定连接有固定板(8)、第二轴承座(9)和第三轴承座(26)，所述第三轴承座(26)的内部转动连接有间歇性运动装置，所述第二轴承座(9)的内部转动连接有往复装置，所述底板(1)的下端固定连接有动力装置。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述底板(1)的下端固定连接有支撑腿(2)，所述支撑腿(2)设置有多个均匀的分布在底板(1)的下端。

3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述间歇性运动装置包括第四轴承座(27)、蜗杆(28)、蜗轮(29)、第二从动轮(17)、第二皮带(18)、第二主动轮(21)、半齿轮(24)、第一转轴(7)、圆盘(6)和第三转轴(25)，所述第三轴承座(26)的内部转动连接有第三转轴(25)，所述第三转轴(25)的右端固定连接有第二主动轮(21)，所述第三转轴(25)的左端固定连接有半齿轮(24)；所述底板(1)的内部转动连接有第一转轴(7)，所述第一转轴(7)的上端固定连接有圆盘(6)，所述第一转轴(7)的下端固定连接有蜗轮(29)，所述蜗轮(29)啮合有蜗杆(28)，所述蜗杆(28)与第四轴承座(27)之间转动连接，所述第四轴承座(27)的上端与底板(1)之间固定连接，所述蜗杆(28)的右端固定连接有第二从动轮(17)，所述第二主动轮(21)和第二从动轮(17)之间通过第二皮带(18)连接。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述往复装置包括方形板(14)、凸轮(15)、全齿轮(19)、第二转轴(11)、移动条(12)、检测头(13)、滑杆(23)和弹簧(22)，所述固定板(8)的内部固定连接有滑杆(23)，所述滑杆(23)的圆周面滑动连接有移动条(12)，所述移动条(12)的下端固定连接有弹簧(22)和检测头(13)，所述弹簧(22)远离移动条(12)的一端与固定板(8)之间固定连接，所述移动条(12)的右端固定连接有方形板(14)；所述第二轴承座(9)的内部转动连接有第二转轴(11)，所述第二转轴(11)的圆周面固定连接有全齿轮(19)。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述动力装置包括双轴电机(5)、转动杆(3)、第一轴承座(4)、第一主动轮(16)、第一从动轮(20)和第一皮带(10)，所述底板(1)的下端固定连接有双轴电机(5)和第一轴承座(4)，所述双轴电机(5)的出轴端固定连接有转动杆(3)，所述转动杆(3)与第一轴承座(4)之间转动连接，所述转动杆(3)的右端固定连接有第一主动轮(16)，所述第二转轴(11)的右端固定连接有第一从动轮(20)，所述第一主动轮(16)和第一从动轮(20)之间通过第一皮带(10)连接。

6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述转动杆(3)、第一轴承座(4)、第一主动轮(16)、第一从动轮(20)、第一皮带(10)、第二轴承座(9)、固定板(8)、弹簧(22)、滑杆(23)、凸轮(15)和方形板(14)对称分布在底板(1)的左右两端。