[实用新型]一种新型CVD炉用保温盖板

摘要

一种新型CVD炉用保温盖板，包括保温盖板毡、上固定支架、下固定支架和保温毡，保温盖板毡上下分别设置有规格一样的上固定支架和下固定支架，所述保温毡设置在保温盖板毡与下固定支架之间，所述保温盖板毡、保温毡(6)以及固定支架外圈均设置有用扁铁焊接加固密封圈，所述保温盖板毡、保温毡以及固定支架之间通过连接螺栓连接固定。本实用新型一次性解决保温盖板由于自身重量和直径过大，中心容易发生坍塌，造成结构出现孔洞，从而影响炉内气体密封的问题，同时解决之前保温盖板只能一次性的使用的问题，降低生产成本。