[实用新型]一种新型CVD炉用保温盖板有效
| 申请号： | 202122639955.X | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN215976030U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 胡友军;容青城;朱正评;郭建军;周宇 | 申请（专利权）人： | 湖南宇星碳素有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 413000 湖南省益阳市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 cvd 保温 盖板 | ||
1.一种新型CVD炉用保温盖板，包括保温盖板毡(1)、上固定支架(2)、下固定支架(7)和保温毡(6)，其特征在于：所述保温盖板毡(1)上下分别设置有规格一样的上固定支架(2)和下固定支架(7)，所述保温毡(6)设置在保温盖板毡(1)与下固定支架(7)之间，所述保温盖板毡(1)、保温毡(6)以及上固定支架(2)和下固定支架(7)外圈均设置有用扁铁焊接加固密封圈(5)，所述保温盖板毡(1)、保温毡(6)以及固定支架之间通过连接螺栓(4)连接固定。
2.根据权利要求1所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述保温盖板毡(1)由3-5层厚度为50-70mm的石墨毡重叠组成，所述保温毡(6)选用厚度为2-4cm石墨毡或岩棉保温材料。
3.根据权利要求1所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述固定支架(2)采用不锈钢或耐高温1200℃的金属制作而成。
4.根据权利要求3所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述上固定支架(2)和下固定支架(7)朝向外侧的一面上对应设置有加强筋(3)，所述加强筋(3)上设置有用于连接的螺孔。
5.根据权利要求1所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述连接螺栓(4)选用碳碳螺杆和碳碳螺母。
6.根据权利要求3所述的一种新型CVD炉用保温盖板，其特征在于：所述上固定支架(2)和下固定支架(7)外圈长度大于保温盖板毡(1)内边，采用“米”字状或“井”字状结构。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
