[实用新型]一种板式镀膜设备的维护工具

摘要

本实用新型提供一种板式镀膜设备的维护工具，包括：外壳，外壳为一侧开口的腔体；喷气管，喷气管设置于外壳的腔体内，喷气管用于向板式镀膜设备喷射低温气体；储气罐，储气罐设置于外壳一侧，储气罐与喷气管的一端连接，用于储存低温气体。本实用新型的有益效果是解决了目前对板式镀膜设备维护时对附着的氮化硅或氧化铝进行去除传统方法使用气钻一点点凿下来，费时费力，且无法完全去除干净，工作效率低，多次使用会容易造成板式镀膜设备的金属件变形的问题，提供一种板式镀膜设备的维护工具，该维护工具为自动控制，无需人工，省时省力，工作效率高，且去除效果显著，对板式镀膜设备伤害较小，具有更好的维护效果。