[实用新型]一种板式镀膜设备的维护工具

说明书

本实用新型提供一种板式镀膜设备的维护工具，包括：外壳，外壳为一侧开口的腔体；喷气管，喷气管设置于外壳的腔体内，喷气管用于向板式镀膜设备喷射低温气体；储气罐，储气罐设置于外壳一侧，储气罐与喷气管的一端连接，用于储存低温气体。本实用新型的有益效果是解决了目前对板式镀膜设备维护时对附着的氮化硅或氧化铝进行去除传统方法使用气钻一点点凿下来，费时费力，且无法完全去除干净，工作效率低，多次使用会容易造成板式镀膜设备的金属件变形的问题，提供一种板式镀膜设备的维护工具，该维护工具为自动控制，无需人工，省时省力，工作效率高，且去除效果显著，对板式镀膜设备伤害较小，具有更好的维护效果。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制造镀膜工序设备维护技术领域，尤其是涉及一种板式镀膜设备的维护工具。

背景技术

目前，太阳能电池技术行业得到飞速发展，尤其是生产工艺和生产技术有了非常大的提升，很多主流太阳能电池生产企业都已经采用了高效电池生产技术，而其中大部分使用的是PERC(Passivated Emitterand Rear Cell)电池技术。在PERC电池技术的生产中，板式PECVD(等离子体增强化学气相沉积)镀膜技术有着非常广泛的应用。板式镀膜技术具有集成度高、产量高、均匀性好等优点，但与此同时，板式镀膜设备也具有维护周期短、维护时间长、维护不彻底的缺陷。板式镀膜设备的氮化硅或氧化铝层粘附在设备金属面上，硬度高，非常难以去除，目前常规的去除方法是使用气钻一点点凿下来，费时费力，且无法完全去除干净，工作效率低，且这种方法多次使用会容易造成板式镀膜设备的金属件变形，影响板式镀膜设备的使用。

因此，基于以上需求，本实用新型提供一种板式镀膜设备的维护工具，该维护工具利用氮化硅或氧化铝与金属的热胀冷缩特性差异，使用低温气体对附着有氮化硅或氧化铝的部分进行快速降温，使氮化硅或氧化铝与金属之间产生收缩差异而自行崩落，崩落的废料被收集在一起，防止四处迸溅，造成危险。该维护工具为自动控制，无需人工，省时省力，工作效率高，且去除效果显著，对板式镀膜设备伤害较小，具有更好的维护效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是为解决上述背景技术中提出的目前现有技术的对板式镀膜设备维护时对附着的氮化硅或氧化铝进行去除传统方法使用气钻一点点凿下来，费时费力，且无法完全去除干净，工作效率低，多次使用会容易造成板式镀膜设备的金属件变形，影响板式镀膜设备的使用的问题，提供一种板式镀膜设备的维护工具，该维护工具利用氮化硅或氧化铝与金属的热胀冷缩特性差异，使用低温气体对附着有氮化硅或氧化铝的部分进行快速降温，使氮化硅或氧化铝与金属之间产生收缩差异而自行崩落，崩落的废料被收集在一起，防止四处迸溅，造成危险。该维护工具为自动控制，无需人工，省时省力，工作效率高，且去除效果显著，对板式镀膜设备伤害较小，具有更好的维护效果。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种板式镀膜设备的维护工具，包括：

外壳，所述外壳为一侧开口的腔体；

喷气管，所述喷气管设置于所述外壳的所述腔体内，所述喷气管用于向所述板式镀膜设备喷射低温气体；

储气罐，所述储气罐设置于所述外壳一侧，所述储气罐与所述喷气管的一端连接，用于储存所述低温气体。

进一步地，所述喷气管靠近所述板式镀膜设备的一端设置有喷气口，所述喷气口配套设置有防尘塞，当所述维护工具不工作时，所述防尘塞放置于所述喷气口处，当需要使用所述维护工具时，将所述防尘塞从所述喷气口处取下。

进一步地，还包括：

废料收集袋，所述废料收集袋设置于所述外壳下方，与所述外壳的所述腔体连通，所述废料收集袋用于收集所述维护工具工作时产生的废料。

进一步地，还包括：