[实用新型]一种金属掩膜版有效
| 申请号： | 202122485917.3 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN216192651U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 屈博文 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 边人洲 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种金属掩膜版，所述金属掩膜版包括金属掩膜版基板和至少一个垫片；所述垫片设置于所述金属掩膜版基板的一侧；所述垫片的厚度各自独立地为50‑300μm。本实用新型所述金属掩膜版通过设置垫片，缩短了优化时的耗时，降低了成本低，且所述金属掩膜版的位置精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 掩膜版 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电股份有限公司，未经上海和辉光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122485917.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
