[实用新型]前开式晶圆传送盒的门板防错机构有效
| 申请号： | 202122471695.X | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN216076874U | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李闯;喻成虎;袁继超 | 申请（专利权）人： | 上海赛瑾精密科技有限公司 |
| 主分类号： | E06B5/00 | 分类号： | E06B5/00;E06B3/70;E06B1/52;E05C19/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434 | 代理人： | 任昉 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种前开式晶圆传送盒的门板防错机构，通过在前开式晶圆传送盒本体门框上的上锁口或下锁口的中部设置干涉筋条，在前开式晶圆传送盒门板的上锁舌或下锁舌上设置阻挡横梁，即通过干涉筋条确定门框的上下位置、通过阻挡横梁确定门板的上下位置，具有阻挡横梁的上锁舌或下锁舌只能与没有干涉筋条的上锁口或下锁口进行匹配锁定，而没有阻挡横梁的上锁舌或下锁舌才能与设有干涉筋条的上锁口或下锁口进行匹配锁定，进而保证门板与门框上下位置的正确匹配，防止出现安装差错。本实用新型简单方便，能有效防止前开式晶圆传送盒门板在前开式晶圆传送盒本体门框上出现上下位置颠倒的安装错误，确保门板位置的正确，有效保护晶圆，确保晶圆运送和储存的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 前开式晶圆 传送 门板 机构 | ||
【主权项】：
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