[实用新型]前开式晶圆传送盒的门板防错机构

说明书

一种前开式晶圆传送盒的门板防错机构，通过在前开式晶圆传送盒本体门框上的上锁口或下锁口的中部设置干涉筋条，在前开式晶圆传送盒门板的上锁舌或下锁舌上设置阻挡横梁，即通过干涉筋条确定门框的上下位置、通过阻挡横梁确定门板的上下位置，具有阻挡横梁的上锁舌或下锁舌只能与没有干涉筋条的上锁口或下锁口进行匹配锁定，而没有阻挡横梁的上锁舌或下锁舌才能与设有干涉筋条的上锁口或下锁口进行匹配锁定，进而保证门板与门框上下位置的正确匹配，防止出现安装差错。本实用新型简单方便，能有效防止前开式晶圆传送盒门板在前开式晶圆传送盒本体门框上出现上下位置颠倒的安装错误，确保门板位置的正确，有效保护晶圆，确保晶圆运送和储存的安全。

技术领域

本实用新型涉及一种防错机构，尤其涉及一种前开式晶圆传送盒的门板防错机构，属于晶圆生产传送设备的生产制造技术领域。

背景技术

FOUP，是前开式晶圆传送盒(英文为：Front Opening Unified Pod)的英文简称，是一种半导体元器件生产过程中用于保护、运送并储存晶圆的容器，包括其内部可以容纳多片晶圆的前开式晶圆传送盒本体。

前开式晶圆传送盒本体上还设置有一个前开式门框专司于容器的开闭，门框通过门板进行封闭。

根据晶圆的放置和运送要求，门板的上下位置应与门框的上下位置对应匹配，以便保护晶圆、确保晶圆运送和储存的安全。

现有技术中，前开式晶圆传送盒本体的门框通常为矩形，相应的门板亦为矩形，由于门板通常是由人工或机台设备进行操作安装在门框上的，当出现门板正好颠倒180度时，若不及时发现并进行排除，安装的门板其位置会上下颠倒，从而影响其对晶圆的防护，无法保证晶圆运送和储存的安全。

实用新型内容

为克服现有技术的不足，本实用新型提供一种前开式晶圆传送盒的门板防错机构，目的在于：

提供一种简单、有效的防错机构，防止前开式晶圆传送盒的门板在前开式晶圆传送盒本体的门框上出现上下位置颠倒的安装错误，确保门板安装位置的正确，有效保护晶圆，确保晶圆运送和储存的安全。

为达上述目的，本实用新型提供如下的技术方案。

一种前开式晶圆传送盒的门板防错机构，用以防止前开式晶圆传送盒的门板安装在前开式晶圆传送盒本体的门框上时发生上下位置颠倒的错误；

所述前开式晶圆传送盒本体其门框为矩形，其中，组成所述门框的顶部框架上设置有上锁口，组成所述门框的底部框架上设置有下锁口；

所述门板具有与所述门框对应匹配的形状和尺寸，且所述门板其上部设置有对应所述上锁口的上锁舌，所述门板其下部设置有对应所述下锁口的下锁舌；

当所述门板覆盖在所述门框上，且所述门板的上锁舌对应所述门框的上锁口、所述门板的下锁舌对应所述门框的下锁口，拉动分别连接所述上锁舌和所述下锁舌的连杆，可以使得所述上锁舌和所述下锁舌分别插入所述上锁口和所述下锁口中或从所述上锁口和所述下锁口中缩回，实现所述门板与所述门框上下正确匹配的锁定封闭或所述门板从所述门框上的解锁脱离；

其中：

所述门板防错机构包括：

设置在所述上锁口或所述下锁口中部的干涉筋条，以及对应具有干涉筋条的所述上锁口或所述下锁口的所述上锁舌或所述下锁舌中设置的阻挡横梁；

对应于具有干涉筋条的所述上锁口或所述下锁口的所述上锁舌或所述下锁舌各自分别由两个或两个以上并排的子舌组成，且各个所述子舌之间通过阻挡横梁进行连接，所述阻挡横梁与所述干涉筋条的位置对应。

可选的：

所述门框的顶部框架上设置有两个所述上锁口，组成所述门框的底部框架上设置有两个所述下锁口；