[实用新型]前开式晶圆传送盒的门板防错机构有效
| 申请号: | 202122471695.X | 申请日: | 2021-10-13 |
| 公开(公告)号: | CN216076874U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
| 发明(设计)人: | 李闯;喻成虎;袁继超 | 申请(专利权)人: | 上海赛瑾精密科技有限公司 |
| 主分类号: | E06B5/00 | 分类号: | E06B5/00;E06B3/70;E06B1/52;E05C19/00;H01L21/677 |
| 代理公司: | 上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434 | 代理人: | 任昉 |
| 地址: | 200000 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 前开式晶圆 传送 门板 机构 | ||
1.一种前开式晶圆传送盒的门板防错机构,用以防止前开式晶圆传送盒的门板安装在前开式晶圆传送盒本体的门框上时发生上下位置颠倒的错误;
所述前开式晶圆传送盒本体其门框为矩形,其中,组成所述门框的顶部框架上设置有上锁口,组成所述门框的底部框架上设置有下锁口;
所述门板具有与所述门框对应匹配的形状和尺寸,且所述门板其上部设置有对应所述上锁口的上锁舌,所述门板其下部设置有对应所述下锁口的下锁舌;
当所述门板覆盖在所述门框上,且所述门板的上锁舌对应所述门框的上锁口、所述门板的下锁舌对应所述门框的下锁口,拉动分别连接所述上锁舌和所述下锁舌的连杆,可以使得所述上锁舌和所述下锁舌分别插入所述上锁口和所述下锁口中或从所述上锁口和所述下锁口中缩回,实现所述门板与所述门框上下正确匹配的锁定封闭或所述门板从所述门框上的解锁脱离;
其特征在于:
所述门板防错机构包括:
设置在所述上锁口或所述下锁口中部的干涉筋条,以及对应具有干涉筋条的所述上锁口或所述下锁口的所述上锁舌或所述下锁舌中设置的阻挡横梁;
对应于具有干涉筋条的所述上锁口或所述下锁口的所述上锁舌或所述下锁舌各自分别由两个或两个以上并排的子舌组成,且各个所述子舌之间通过阻挡横梁进行连接,所述阻挡横梁与所述干涉筋条的位置对应。
2.如权利要求1所述的前开式晶圆传送盒的门板防错机构,其特征在于:
所述门框的顶部框架上设置有两个所述上锁口,组成所述门框的底部框架上设置有两个所述下锁口;
所述门板其上部设置有对应两个所述上锁口的两个所述上锁舌,所述门板其下部设置有对应两个所述下锁口的两个所述下锁舌。
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