[实用新型]一种用于方形硅片清洗的工装有效
| 申请号： | 202122207620.0 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN215965398U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周尤;段昧存;韦树喜 | 申请（专利权）人： | 安徽万维克林精密装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 安徽顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 李照 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘，托盘的顶部固定设置有多组固定块，且多组固定块皆开有不同尺寸的通槽，固定块顶部固的设置有多组固定销，且多组固定销与通槽相对应，固定销与通槽之间活动卡接有不同尺寸的硅片，多组固定块之间活动卡接有六边形卡盘；本实用新型通过将硅片推入固定销与固定块之间卡住，再将六边形卡盘卡入多组固定块之间，从而使得多组固定块上不同位置的固定销，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，清洗完成后硅片更换方便，且通槽与通孔使药液更好的与硅片接触，圆孔使六边形卡盘表面漏液通畅，不容易积液，工装整体结构简单，安装拆卸较为便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 方形 硅片 清洗 工装 | ||
【主权项】：
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