[实用新型]一种用于方形硅片清洗的工装

说明书

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘，托盘的顶部固定设置有多组固定块，且多组固定块皆开有不同尺寸的通槽，固定块顶部固的设置有多组固定销，且多组固定销与通槽相对应，固定销与通槽之间活动卡接有不同尺寸的硅片，多组固定块之间活动卡接有六边形卡盘；本实用新型通过将硅片推入固定销与固定块之间卡住，再将六边形卡盘卡入多组固定块之间，从而使得多组固定块上不同位置的固定销，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，清洗完成后硅片更换方便，且通槽与通孔使药液更好的与硅片接触，圆孔使六边形卡盘表面漏液通畅，不容易积液，工装整体结构简单，安装拆卸较为便捷。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种用于方形硅片清洗的工装。

背景技术

硅片在米粒大的硅片上，已能集成15.6万个晶体管，微电子技术正在悄悄走进航空航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。用硅片制成的硅片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。

现有的方形硅片清洗工装在清洗时，不同形状和尺寸的硅片需使用不同尺寸的工装进行固定，现有的工装无法实现多种形状及尺寸的硅片同时进行清洗，工装通用性差。

实用新型内容

针对上述存在的问题，本实用新型提出了一种用于方形硅片清洗的工装，多组固定块上不同位置的固定销，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，清洗完成后方便更换方片，结构简单，安装拆卸方便，且通槽与通孔使药液更好的与硅片接触，圆孔使六边形卡盘表面漏液通畅，不容易积液。

为了实现上述的目的，本实用新型采用以下的技术方案：

一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘，托盘的顶部固定设置有多组固定块，且多组固定块皆开有不同尺寸的通槽，固定块顶部固的设置有多组固定销，且多组固定销与通槽相对应，固定销与通槽之间活动卡接有不同尺寸的硅片，多组固定块之间活动卡接有六边形卡盘，且六边形卡盘中开有多组圆孔。

优选的，托盘顶部固定设置有两组与圆孔相配合的定位销，六边形卡盘的顶部中间位置固定设置有立柱。

优选的，托盘顶部固定设置有多组挂钩，且多组挂钩与外部机械手相配合。

优选的，固定块中螺纹连接有多组螺栓，且固定块通过多组螺栓固定在托盘上。

优选的，固定块底部周边开有多组通孔，且通孔底部与托盘贴合。

由于采用上述的技术方案，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过托盘上设置有多组固定块，且固定块上根据不同硅片的尺寸固定设置有多组固定销，固定块开有与不同尺寸硅片相对应的通槽，将硅片推入固定销与固定块之间卡住，再将六边形卡盘卡入多组固定块之间，从而使得多组固定块上不同位置的固定销，可以实现多种尺寸的方片同时清洗，提高工装通用性，清洗完成后硅片更换方便，且通槽与通孔使药液更好的与硅片接触，圆孔使六边形卡盘表面漏液通畅，不容易积液，工装整体结构简单，安装拆卸较为便捷。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的，保护一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的侧视图。

图中：1、托盘；2、固定块；3、固定销；4、通槽；5、通孔；6、六边形卡盘；7、圆孔；8、立柱；9、定位销；10、挂钩；11、螺栓；12、硅片。

具体实施方式