[实用新型]一种用于方形硅片清洗的工装有效
| 申请号： | 202122207620.0 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN215965398U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周尤;段昧存;韦树喜 | 申请（专利权）人： | 安徽万维克林精密装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 安徽顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 李照 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 方形 硅片 清洗 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘(1)，其特征在于：所述托盘(1)的顶部固定设置有多组固定块(2)，且多组固定块(2)皆开有不同尺寸的通槽(4)，所述固定块(2)顶部固定设置有多组固定销(3)，且多组固定销(3)与通槽(4)相对应，所述固定销(3)与通槽(4)之间活动卡接有不同尺寸的硅片(12)，多组所述固定块(2)之间活动卡接有六边形卡盘(6)，且六边形卡盘(6)中开有多组圆孔(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述托盘(1)顶部固定设置有两组与圆孔(7)相配合的定位销(9)，所述六边形卡盘(6)的顶部中间位置固定设置有立柱(8)。
3.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述托盘(1)顶部固定设置有多组挂钩(10)，且多组挂钩(10)与外部机械手相配合。
4.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述固定块(2)中螺纹连接有多组螺栓(11)，且固定块(2)通过多组螺栓(11)固定在托盘(1)上。
5.根据权利要求1所述的一种用于方形硅片清洗的工装，其特征在于：所述固定块(2)底部周边开有多组通孔(5)，且通孔(5)底部与托盘(1)贴合。
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