[实用新型]一种用于排除浮碴的锗单晶直拉生长装置及生长炉有效
申请号: | 202122184503.7 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN215481414U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 牛沈军;彭明林;周方;刘雪松;徐悟生 | 申请(专利权)人: | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/08;C30B15/10 |
代理公司: | 苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙) 32523 | 代理人: | 查杰 |
地址: | 066000 河北省秦*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于排除浮碴的锗单晶直拉生长装置,包括坩埚以及设置在坩埚上方的过滤盘,所述坩埚设置在旋转升降装置上,所述旋转升降装置带动坩埚朝向或者远离过滤盘移动,所述过滤盘固定设置在导流筒上,所述导流筒吊装设置在温场内,所述过滤盘底部上开设有多个过液孔;还公开一种生长炉,采用上述的生长装置。本实用新型能够保证晶体生长区域内无浮碴,从而保障晶体生长过程的顺利进行。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 排除 锗单晶直拉 生长 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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