[实用新型]一种用于排除浮碴的锗单晶直拉生长装置及生长炉有效

专利信息
申请号: 202122184503.7 申请日: 2021-09-10
公开(公告)号: CN215481414U 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 牛沈军;彭明林;周方;刘雪松;徐悟生 申请(专利权)人: 秦皇岛本征晶体科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/08;C30B15/10
代理公司: 苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙) 32523 代理人: 查杰
地址: 066000 河北省秦*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种用于排除浮碴的锗单晶直拉生长装置,包括坩埚以及设置在坩埚上方的过滤盘,所述坩埚设置在旋转升降装置上,所述旋转升降装置带动坩埚朝向或者远离过滤盘移动,所述过滤盘固定设置在导流筒上,所述导流筒吊装设置在温场内,所述过滤盘底部上开设有多个过液孔;还公开一种生长炉,采用上述的生长装置。本实用新型能够保证晶体生长区域内无浮碴,从而保障晶体生长过程的顺利进行。
搜索关键词: 一种 用于 排除 锗单晶直拉 生长 装置
【主权项】:
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