[实用新型]一种六自由度干涉法测量金刚石压头角度设备有效
| 申请号： | 202122137973.8 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN216049719U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 崔园园;张峰;叶明;刘吉萍 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 申星宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及金刚石技术领域，具体为一种六自由度干涉法测量金刚石压头角度设备，包括底座，所述底座上设置有调节组件，所述调节组件包括底座上设置的支撑座，所述支撑座上设置有xy向平移台，所述xy向平移台上设置有绕x轴旋转台，所述绕x轴旋转台的一侧设置有绕x轴光栅编码器,另一侧设置有一个载有可调L型座的yz向平移台，所述可调型座上设置有绕z轴旋转台、绕z轴光栅编码器和xy向平移台工装组件。该六自由度干涉法测量金刚石压头角度设备，便于调节后使得整个视场出现零级条纹，对金刚石压头进行角度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 干涉 测量 金刚石 压头 角度 设备 | ||
【主权项】：
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