[实用新型]一种硅片切割废液处理装置有效

专利信息
申请号: 202122134729.6 申请日: 2021-09-06
公开(公告)号: CN215288399U 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 朱佳伟;倪康;王庆;金月祥;李祎 申请(专利权)人: 嘉兴市环科环保新材料科技有限公司
主分类号: C02F9/10 分类号: C02F9/10;C01B32/956;C01B33/02
代理公司: 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 代理人: 李立
地址: 314000 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及硅片切割废液处理装置技术领域,具体为一种硅片切割废液处理装置,包括混合罐、过滤罐、蒸发箱、控制器、混合腔、过滤腔、蒸发腔、第一连接管以及连接所述过滤腔底部和蒸发腔顶部所采用的第二连接管,所述混合腔的顶部设有废液管和进水管,所述混合腔内设有混料组件,所述过滤腔内由上而下依次设有粗滤网和细滤网,所述粗滤网和细滤网将所述过滤腔内由上而下依次划分为粗滤腔、中粗滤腔和液体腔,所述过滤腔内还设有防堵组件,所述蒸发腔的腔体内壁上嵌设有加热组件,所述蒸发腔内设有搅拌组件,所述蒸发腔的顶部开设有多个出气孔;本实用新型能有效分离硅片切割废液中的碳化硅颗粒和硅粉,节约资源,保护环境。
搜索关键词: 一种 硅片 切割 废液 处理 装置
【主权项】:
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