[实用新型]一种硅片切割废液处理装置

权利要求书

1.一种硅片切割废液处理装置，其特征在于：包括混合罐(1)、过滤罐(2)、蒸发箱(3)和控制器，设于所述混合罐(1)中的混合腔(11)，设于所述过滤罐(2)中的过滤腔，设于所述蒸发箱(3)中的蒸发腔(31)，连接所述混合腔(11)底部和过滤腔顶部所采用的第一连接管(41)以及连接所述过滤腔底部和蒸发腔(31)顶部所采用的第二连接管(42)，所述混合腔(11)的顶部设有废液管(43)和进水管(44)，所述混合腔(11)内设有混料组件(5)，所述过滤腔内由上而下依次设有粗滤网(61)和细滤网(62)，所述粗滤网(61)和细滤网(62)将所述过滤腔内由上而下依次划分为粗滤腔(21)、中粗滤腔(22)和液体腔(23)，所述过滤腔内还设有防堵组件(7)，所述蒸发腔(31)的腔体内壁上嵌设有加热组件(8)，所述蒸发腔(31)内设有搅拌组件(9)，所述蒸发腔(31)的顶部开设有多个出气孔(32)，所述混料组件(5)、防堵组件(7)、搅拌组件(9)和加热组件(8)均电性连接所述控制器。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割废液处理装置，其特征在于：所述混料组件(5)包括可转动连接在所述混合腔(11)中的混料轴，设于所述混料轴上的混料叶片，所述混料轴的顶端穿出所述混合罐(1)后、连接有混料电机。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割废液处理装置，其特征在于：所述防堵组件(7)包括可转动连接在所述过滤腔中的防堵轴，设于所述防堵轴上的第一防堵刮片(71)和第二防堵刮片(72)，所述防堵轴的顶端穿出所述过滤罐(2)后、连接有防堵电机，所述第一防堵刮片(71)的底面滑动连接所述粗滤网(61)的上表面，所述第二防堵刮片(72)的底面滑动连接所述细滤网(62)的上表面。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割废液处理装置，其特征在于：所述搅拌组件(9)包括可转动连接在所述蒸发腔(31)中的搅拌轴，所述搅拌轴上设有多片搅拌叶片，所述搅拌轴的顶端穿出所述蒸发箱(3)后、连接有搅拌电机。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割废液处理装置，其特征在于：所述加热组件(8)包括嵌设于所述蒸发腔(31)内壁上的多根加热管和温敏开关。

6.根据权利要求1所述的一种硅片切割废液处理装置，其特征在于：所述第一连接管(41)和第二连接管(42)上均设有水泵(10)，所述水泵(10)电性连接所述控制器。

7.根据权利要求1所述的一种硅片切割废液处理装置，其特征在于：所述粗滤腔(21)和中粗滤腔(22)的一侧分别开设有第一出料口(211)和第二出料口(221)，所述蒸发箱(3)的一侧开设有第三出料口(311)，所述第一出料口(211)、第二出料口(221)和第三出料口(311)中均设有开关控制阀，所述开关控制阀电性连接所述控制器。