[实用新型]一种硅片切割废液处理装置

说明书

本实用新型涉及硅片切割废液处理装置技术领域，具体为一种硅片切割废液处理装置，包括混合罐、过滤罐、蒸发箱、控制器、混合腔、过滤腔、蒸发腔、第一连接管以及连接所述过滤腔底部和蒸发腔顶部所采用的第二连接管，所述混合腔的顶部设有废液管和进水管，所述混合腔内设有混料组件，所述过滤腔内由上而下依次设有粗滤网和细滤网，所述粗滤网和细滤网将所述过滤腔内由上而下依次划分为粗滤腔、中粗滤腔和液体腔，所述过滤腔内还设有防堵组件，所述蒸发腔的腔体内壁上嵌设有加热组件，所述蒸发腔内设有搅拌组件，所述蒸发腔的顶部开设有多个出气孔；本实用新型能有效分离硅片切割废液中的碳化硅颗粒和硅粉，节约资源，保护环境。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割废液处理装置技术领域，具体为一种硅片切割废液处理装置。

背景技术

硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料，硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割液对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果，在整个过程中，钢线通过线辊的引导，在线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比具有效率高，产能高，精度高等优点，因此，多线切割技术是目前最广泛的硅片切割技术。

在多线切割技术中，所使用的切割液通常是由聚乙二醇和1200目左右的碳化硅颗粒按照一定比例配制而成，切割液在切割硅棒的过程中不可避免的会与切削下来的硅粉混在一起，形成大量的切割废液，而且切割液中部分碳化硅颗粒会因切割作用而出现破损，使得部分碳化硅的目数增大，因此，切割废液无法直接重复利用。切割废液中含有很多资源，比如碳化硅颗粒、硅粉等等，如果直接排放掉，不仅造成浪费资源，同时还会污染环境，因此，对于切割废液的处理一直是光伏行业的难题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对上述的不足，提供一种能有效分离硅片切割废液中的碳化硅颗粒和硅粉，节约资源，保护环境的硅片切割废液处理装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片切割废液处理装置，包括混合罐、过滤罐、蒸发箱和控制器，设于所述混合罐中的混合腔，设于所述过滤罐中的过滤腔，设于所述蒸发箱中的蒸发腔，连接所述混合腔底部和过滤腔顶部所采用的第一连接管以及连接所述过滤腔底部和蒸发腔顶部所采用的第二连接管，所述混合腔的顶部设有废液管和进水管，所述混合腔内设有混料组件，所述过滤腔内由上而下依次设有粗滤网和细滤网，所述粗滤网和细滤网将所述过滤腔内由上而下依次划分为粗滤腔、中粗滤腔和液体腔，所述过滤腔内还设有防堵组件，所述蒸发腔的腔体内壁上嵌设有加热组件，所述蒸发腔内设有搅拌组件，所述蒸发腔的顶部开设有多个出气孔，所述混料组件、防堵组件、搅拌组件和加热组件均电性连接所述控制器。

进一步，所述混料组件包括可转动连接在所述混合腔中的混料轴，设于所述混料轴上的混料叶片，所述混料轴的顶端穿出所述混合罐后、连接有混料电机。

进一步，所述防堵组件包括可转动连接在所述过滤腔中的防堵轴，设于所述防堵轴上的第一防堵刮片和第二防堵刮片，所述防堵轴的顶端穿出所述过滤罐后、连接有防堵电机，所述第一防堵刮片的底面滑动连接所述粗滤网的上表面，所述第二防堵刮片的底面滑动连接所述细滤网的上表面。

进一步，所述搅拌组件包括可转动连接在所述蒸发腔中的搅拌轴，所述搅拌轴上设有多片搅拌叶片，所述搅拌轴的顶端穿出所述蒸发箱后、连接有搅拌电机。

进一步，所述加热组件包括嵌设于所述蒸发腔内壁上的多根加热管和温敏开关。

进一步，所述第一连接管和第二连接管上均设有水泵，所述水泵电性连接所述控制器。

进一步，所述粗滤腔和中粗滤腔的一侧分别开设有第一出料口和第二出料口，所述蒸发箱的一侧开设有第三出料口，所述第一出料口、第二出料口和第三出料口中均设有开关控制阀，所述开关控制阀电性连接所述控制器。